無(wu)塵(chen)車間為什么(me)要(yao)控制溫濕度(du)？主要(yao)作(zuo)用和具體措施是什么(me)？

潔(jie)凈(jing)車(che)間和潔(jie)凈(jing)室的(de)溫度和濕度主要(yao)根據(ju)你的(de)加(jia)工工藝要(yao)求來(lai)確(que)定。在滿足加(jia)工工藝的(de)條件(jian)下(xia)，潔(jie)凈(jing)廠房應優先考慮人(ren)的(de)舒適性。隨著(zhu)空氣(qi)凈(jing)化要(yao)求的(de)提高(gao)，工藝對溫濕度的(de)要(yao)求越來(lai)越高(gao)，無(wu)塵凈(jing)化車(che)間必須達到一定的(de)溫濕度水平。

例如，在大規模集成電路(lu)生產的光刻曝(pu)光工藝中，要求作為掩膜材料的玻璃和硅(gui)片(pian)(pian)的熱膨(peng)脹系數之(zhi)差越來越小。對(dui)于(yu)直徑為100um的硅(gui)片(pian)(pian)，當溫度上升1度時(shi)，會引起0.24um。

所以(yi)(yi)必須(xu)有±0.1度(du)的(de)恒(heng)溫，同(tong)時要求濕(shi)度(du)值一般較(jiao)低，因為人出汗以(yi)(yi)后，對(dui)產品將有污染，特別是怕鈉(na)的(de)半導體車(che)間(jian)，這種車(che)間(jian)不宜超(chao)過25度(du)。　濕(shi)度(du)過高產生(sheng)的(de)問題更多。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)超(chao)過55%時，冷卻水管壁(bi)上會(hui)結露，如果(guo)發(fa)生(sheng)在(zai)精密裝(zhuang)置或電路中，就會(hui)引起(qi)各種事(shi)故。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)在(zai)50%時易生(sheng)銹。

然而對于(yu)大(da)部分潔(jie)凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的(de)壓(ya)力（靜壓(ya)）高于(yu)外部的(de)壓(ya)力（靜壓(ya)）。壓(ya)力差的(de)維持一(yi)般應符合以(yi)下原則(ze)：

1.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
2.相通(tong)潔(jie)凈(jing)室(shi)之間(jian)的門要(yao)開向潔(jie)凈(jing)度級別高(gao)的房間(jian)。

3潔凈(jing)空(kong)(kong)間的(de)壓力(li)要(yao)高于(yu)非潔凈(jing)空(kong)(kong)間的(de)壓力(li)。

壓(ya)力差的(de)(de)(de)(de)維持依靠新風(feng)(feng)量，這(zhe)(zhe)個新風(feng)(feng)量要能補償在這(zhe)(zhe)一壓(ya)力差下從縫隙(xi)漏泄掉(diao)的(de)(de)(de)(de)風(feng)(feng)量。所(suo)以壓(ya)力差的(de)(de)(de)(de)物理意義就是漏泄（或滲透）風(feng)(feng)量通過潔(jie)(jie)凈室(shi)的(de)(de)(de)(de)各(ge)種(zhong)縫隙(xi)時的(de)(de)(de)(de)阻力。對(dui)于亂(luan)流(liu)潔(jie)(jie)凈室(shi)?由于主要靠空(kong)氣的(de)(de)(de)(de)稀釋(shi)作用來減輕室(shi)內污染的(de)(de)(de)(de)程度，所(suo)以主要用換(huan)氣次數(shu)這(zhe)(zhe)一概念(nian)，而(er)不直接用速度的(de)(de)(de)(de)概念(nian)，不過對(dui)室(shi)內氣流(liu)速度也有如下要求；

1.送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。
2.吹(chui)過水(shui)平面(mian)的氣流速(su)(su)(su)度(du)（例如側送時回流速(su)(su)(su)度(du)）不(bu)宜太大，以免吹(chui)起表面(mian)微粒重返氣流，而造成再污染，這(zhe)一速(su)(su)(su)度(du)一般不(bu)宜大干0.2m/s。

在我國，《空氣潔凈技術措施》和<潔凈廠房設計規范））都是這樣規定的
垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s
水(shui)平(ping)平(ping)行流(liu)（層(ceng)流(liu)）潔凈(jing)室≥0.35?m/s

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