凈(jing)化(hua)車間為什么(me)要(yao)控制溫濕度？主要(yao)作用和具(ju)體措施是什么(me)？

凈化車間的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)和濕(shi)度(du)(du)主(zhu)要(yao)(yao)根據你的(de)(de)加工(gong)工(gong)藝要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)來(lai)決定。在滿足加工(gong)工(gong)藝的(de)(de)條件下，應首先考(kao)慮人(ren)的(de)(de)舒適性(xing)。隨著空氣(qi)潔凈度(du)(du)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)的(de)(de)提高，工(gong)藝對(dui)(dui)溫(wen)(wen)濕(shi)度(du)(du)的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)高，必(bi)須達(da)到一定的(de)(de)溫(wen)(wen)濕(shi)度(du)(du)水平。例如(ru)，在大(da)(da)規(gui)模(mo)集(ji)成(cheng)電路生(sheng)產(chan)的(de)(de)光刻曝光工(gong)藝中(zhong)，要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)作(zuo)為(wei)掩膜(mo)材料的(de)(de)玻(bo)璃和硅(gui)片的(de)(de)熱(re)膨(peng)脹系數之差越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)小。直徑100 um的(de)(de)硅(gui)片，溫(wen)(wen)度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，引(yin)起0.24um的(de)(de)線膨(peng)脹，所以需(xu)要(yao)(yao)恒溫(wen)(wen)0.1度(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)值一般(ban)較低，因為(wei)人(ren)出汗(han)后，產(chan)品(pin)會(hui)被污染，尤其是怕鈉的(de)(de)半導(dao)(dao)體(ti)車間，這(zhe)個車間不要(yao)(yao)超(chao)過(guo)25度(du)(du)。濕(shi)度(du)(du)過(guo)大(da)(da)會(hui)導(dao)(dao)致更多(duo)的(de)(de)問題。當(dang)相對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)超(chao)過(guo)55%時，冷(leng)卻水管(guan)壁上(shang)會(hui)發生(sheng)凝(ning)結。如(ru)果發生(sheng)在精(jing)密器件或電路中(zhong)，會(hui)造成(cheng)各種事故。相對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)50%時容易生(sheng)銹。

但對于大部分潔凈空間，為了(le)防(fang)止(zhi)外界污染侵(qin)入，需要保持內部壓力(靜(jing)壓)高于外部壓力(靜(jing)壓)。壓差的維持一般應符合以下原(yuan)則：

1.具有高(gao)清(qing)潔度水平的(de)空間(jian)的(de)壓(ya)(ya)力高(gao)于具有低(di)清(qing)潔度水平的(de)相鄰空間(jian)的(de)壓(ya)(ya)力。

2.相通的潔凈室之間(jian)的門應向潔凈度高(gao)的房間(jian)敞開。

潔凈空間(jian)的壓(ya)力高于不潔凈空間(jian)的壓(ya)力。

壓差的(de)維(wei)持(chi)依賴(lai)于(yu)新風(feng)量(liang)，新風(feng)量(liang)可以補償(chang)這個壓差下從縫(feng)隙(xi)漏出的(de)風(feng)量(liang)。因此(ci)，壓差的(de)物理(li)意(yi)義是泄漏(或滲(shen)透)氣流(liu)通過潔凈(jing)室各種縫(feng)隙(xi)的(de)阻力。

對于湍流潔凈(jing)室，空氣(qi)的(de)(de)稀釋是減少室內污染(ran)的(de)(de)主要(yao)途徑，所以(yi)主要(yao)使(shi)用(yong)(yong)換氣(qi)次數的(de)(de)概(gai)念，而不是直(zhi)接使(shi)用(yong)(yong)速(su)度的(de)(de)概(gai)念。但(dan)是，室內空氣(qi)流速(su)也有以(yi)下要(yao)求；

1.送風口出口處的風速不能太高。與空調(diao)房(fang)間相比，要求(qiu)速度衰(shuai)減更快，擴散角更大。

2.氣(qi)流(liu)橫過(guo)(guo)水平面的(de)速度(du)(du)(如側送(song)時(shi)的(de)回流(liu)速度(du)(du))不(bu)宜過(guo)(guo)高，以免將表面顆粒吹回氣(qi)流(liu)中造成(cheng)二次污(wu)染。這個速度(du)(du)一般不(bu)應該(gai)是0.2m/s。

我國《空氣潔(jie)凈(jing)技術措(cuo)施》和《潔(jie)凈(jing)廠房設計(ji)規范》)都是這樣規定的。

平行流(liu)(層流(liu))潔凈室0.25米/秒

平行流(層(ceng)流)潔(jie)凈(jing)室(shi)0.35米/秒