關于如何開(kai)啟(qi)潔(jie)凈空調(diao)、多(duo)久更換一(yi)次(ci)空氣(qi)過濾器等一(yi)系列工(gong)作(zuo)，鴻潔(jie)源潔(jie)凈為潔(jie)凈車(che)間制定了一(yi)套設(she)備開(kai)啟(qi)和(he)維護計劃(hua)。
一、步入無塵車間的準備工作(zuo)；
1.進(jin)入潔凈車間(jian)前，必須經過凈化工程公司的專業(ye)培訓。
2.進入(ru)(ru)潔凈(jing)車間(jian)嚴禁(jin)吸煙、吃(喝)東西(xi)和吃東西(xi)。外來雜(za)物(如報(bao)紙、雜(za)志、鉛筆等。)不準帶入(ru)(ru)，嚴禁(jin)亂跑(pao)，互相聊天。
3.進(jin)入潔凈室前，在(zai)指(zhi)定(ding)地點脫鞋，鞋子(zi)放在(zai)鞋柜(ju)里(li)，外套放在(zai)衣柜(ju)里(li)，個人(ren)物(wu)品放在(zai)私(si)柜(ju)里(li)，柜(ju)子(zi)里(li)不要放食物(wu)。
4.進入(ru)潔凈室(shi)(shi)前，必須先在更衣室(shi)(shi)按規定(ding)和程序戴好口罩、無塵帽、無塵衣、鞋套，然(ran)后(hou)在空氣(qi)潔凈室(shi)(shi)洗去灰塵，踩上除塵地(di)毯(潔凈室(shi)(shi)地(di)板上)后(hou)才能進入(ru)。
5.戴口罩時，口罩要戴在鼻子上(shang)，蓋住(zhu)嘴和鼻孔，以免(mian)呼(hu)吸時污染芯片。
6.穿(chuan)干(gan)凈(jing)衣(yi)服(fu)(fu)(fu)時，要先(xian)整理(li)好衣(yi)服(fu)(fu)(fu)和頭發，再戴干(gan)凈(jing)帽子(zi)，以免穿(chuan)干(gan)凈(jing)衣(yi)服(fu)(fu)(fu)后感到不舒服(fu)(fu)(fu)。
7.梳洗完畢，先(xian)戴上(shang)無(wu)塵帽。無(wu)塵帽的(de)佩(pei)戴原(yuan)則是：
(1)頭發必須(xu)完(wan)全覆蓋在帽內，不能外露。(2)無塵帽的下擺要(yao)均勻的鋪在肩膀(bang)上。穿上工作服后，下擺不會掉出來，露出肩膀(bang)和脖(bo)子(zi)。
8.戴(dai)好無(wu)(wu)塵(chen)帽(mao)后，穿(chuan)上(shang)無(wu)(wu)塵(chen)服。無(wu)(wu)塵(chen)服要(yao)大小合適，避免(mian)褲腿(tui)或短袖暴(bao)露皮膚的風險(xian)。穿(chuan)衣時注意(yi)保持帽(mao)檐平整(zheng)，無(wu)(wu)塵(chen)服不可反穿(chuan)。凈網-] R10W3360W9 * 42BV9。
9.穿(chuan)上(shang)干凈的衣(yi)服后，套上(shang)鞋套，拉起(qi)鞋套，把(ba)鞋套放平，真正蓋住褲腿。
10.戴(dai)手(shou)(shou)套(tao)時(shi)，應避免(mian)徒手(shou)(shou)接(jie)觸手(shou)(shou)套(tao)的手(shou)(shou)掌和指尖(jian)(防止鈉離(li)子(zi)污染(ran))。戴(dai)上手(shou)(shou)套(tao)后，要把手(shou)(shou)套(tao)的手(shou)(shou)腕套(tao)在袖子(zi)里(li)，隔(ge)離(li)污染(ran)源(yuan)。
11.干(gan)凈的衣服穿(chuan)戴(dai)妥當后，洗去(qu)灰塵(chen)，踩上防(fang)塵(chen)毯(tan)，才能(neng)進入潔(jie)凈室。
12.無論進出潔凈室(shi)(shi)，都(dou)要按(an)規定(ding)在更衣室(shi)(shi)脫干凈衣服，在其他區域不能脫，尤其是在潔凈室(shi)(shi)行走時。
13.無塵衣(yi)物、鞋(xie)套等。應該定期清(qing)洗。如果損壞，應在(zai)離(li)線時立即更換。
14.脫干凈衣(yi)服(fu)時(shi)，順序與(yu)穿(chuan)衣(yi)服(fu)時(shi)相(xiang)反。
15.脫下(xia)無(wu)塵(chen)服，掛在(zai)更(geng)衣(yi)室上層(ceng)柜(ju)子里；鞋(xie)套要放在(zai)懸(xuan)掛的(de)無(wu)塵(chen)服下(xia)面(mian)。
16.更衣室內(nei)，除(chu)干(gan)凈(jing)衣服等指定物品(pin)外，不(bu)得放置其(qi)他(ta)物品(pin)。
17.除規定的紙張和物品(pin)外，其(qi)他(ta)物品(pin)不得帶入潔凈(jing)室。
18.無塵衣物等。不得從(cong)潔凈室中(zhong)取出，并(bing)在(zai)使用后放(fang)置(zhi)在(zai)指(zhi)定的地方(fang)。
19.口罩和手套可(ke)根據情況自行保(bao)留或重復使用(yong)。
20.任何(he)進(jin)入(ru)潔凈(jing)室的東西(xi)都必須用清潔劑(ji)擦拭(shi)干(gan)凈(jing)。
21.任何設備進(jin)入(ru)請(qing)通知(zhi)經(jing)理，進(jin)入(ru)前在潔凈室(shi)外擦拭干(gan)凈。
22.檢驗不合格的(de)儀(yi)器禁止(zhi)使(shi)用。在緊(jin)急情況下，可以按照緊(jin)急處(chu)理步驟進(jin)行適當的(de)處(chu)理，例如關閉水、電、氣的(de)開關。
23.千(qian)萬(wan)不要在潔凈室用火，以免發(fa)生(sheng)意外。
二、潔凈室操(cao)作說明：
1、處(chu)理芯(xin)片時(shi)，必須戴無纖維手(shou)(shou)套，使(shi)用清潔的鑷(nie)子夾住(zhu)芯(xin)片，不要用手(shou)(shou)指或其(qi)他任何(he)東西接觸芯(xin)片。被觸摸和污染的芯(xin)片必須清洗干凈后才能再次使(shi)用：
(1)如果(guo)任何鑷子的前端(即夾(jia)持(chi)芯片的那一(yi)端)被觸(chu)摸，或(huo)者鑷子掉到地上，都必(bi)須清洗干凈(jing)。不要用紙巾或(huo)布擦拭臟鑷子。
(2)如(ru)果在(zai)清洗(xi)后和下一個(ge)程(cheng)序之(zhi)前用手指觸摸芯(xin)片(pian)，必須再次(ci)清洗(xi)。
(3)當芯片放在應時(shi)舟上準備放入爐管時(shi)，如(ru)果發現所用的鑷子污損或(huo)芯片上有明顯的鑷子污染，必(bi)須再次清(qing)洗(xi)芯片，并立即(ji)更換(huan)干凈的鑷子。
2.芯片一定要放在(zai)盒子里，蓋好(hao)，存放在(zai)指定的位置，盡量(liang)不(bu)要暴露。
3.避(bi)免(mian)對著芯(xin)(xin)片(pian)說話，防止口水濺到芯(xin)(xin)片(pian)上。在芯(xin)(xin)片(pian)進(jin)入擴(kuo)散爐之前，請(qing)特別注意防止上述動作(zuo)。如果芯(xin)(xin)片(pian)沾有(you)纖維屑，用(yong)氮氣(qi)槍噴(pen)。
4.從(cong)聚四氟乙烯晶舟、應時(shi)晶舟等(deng)載體上取出(chu)芯(xin)片(pian)時(shi)。時(shi)，芯(xin)片(pian)必須(xu)垂(chui)直舉起(qi)，以免刮傷芯(xin)片(pian)。只有當顯微鏡鏡頭遠離芯(xin)片(pian)時(shi)，才(cai)能將芯(xin)片(pian)從(cong)吸座中取出(chu)。
5.如(ru)果芯片(pian)上生(sheng)長(chang)了氧化層，在(zai)將(jiang)芯片(pian)送到黃燈室之前(qian)，不要用金剛石刀在(zai)芯片(pian)上雕刻。
6.操作(zuo)時，無論是否(fou)戴手套，絕對不(bu)能將手放入洗滌槽中。
7.當使用化學工(gong)作站或烤箱處理(li)芯片時，請確保將芯片放在特氟隆水(shui)晶(jing)舟內，不(bu)要(yao)使用塑料盒。
8.將芯(xin)片放在應(ying)時舟(zhou)上(shang)時，如果(guo)芯(xin)片掉到地上(shang)或手上(shang)，必須再(zai)次清洗，然后(hou)放入氧化(hua)爐中(zhong)。
9.請(qing)不要(yao)觸摸芯片盒的內部。如果被(bei)碰過或被(bei)碎屑污染，必須再次清(qing)洗(xi)。
10.手套、廢紙和其(qi)他雜物(wu)不應留在控制(zhi)臺內。如(ru)果手套燒焦、磨損或纖(xian)維(wei)質量改(gai)變，必須更(geng)換。
11.在沒有說(shuo)明的(de)情(qing)況下，切勿打開不(bu)熟悉的(de)儀(yi)器和各(ge)種開關(guan)閥(fa)控制旋鈕或手柄。
12.如發現溶(rong)液有異味(wei)或異常(chang)反應、顏色(se)、聲音等，請立即通知相關人員(yuan)。
13.當儀器因(yin)操作失誤而損壞時，務(wu)必立(li)即通(tong)知負責人或老師。
14.芯片箱(xiang)進出潔凈(jing)室必須保持清潔，并(bing)用(yong)保鮮膜(mo)密封，違(wei)者不得入內(nei)。
15.所有潔凈室(shi)應使用圓珠(zhu)筆和(he)干凈的(de)筆記本做記錄，一般紙張(zhang)和(he)鉛筆不(bu)得帶入。
三(san)、黃燈區域(yu)1的操(cao)作說明：
1.濕(shi)(shi)度和溫(wen)度會影響校準工(gong)作。注意黃燈區域的溫(wen)度和濕(shi)(shi)度，減少(shao)對(dui)準機附近的人數，減少(shao)濕(shi)(shi)度和溫(wen)度的變(bian)化。
2.光刻膠未曝光的芯片不要(yao)出(chu)黃光區，以免感光。
3.光(guang)(guang)刻膠已經裝好，等待對準曝光(guang)(guang)的(de)芯(xin)片(pian)要放在不透明的(de)藍黑(hei)色水晶(jing)盒(he)里，盒(he)蓋一定(ding)要蓋好。
4.使(shi)用(yong)面(mian)(mian)膜(mo)時，應取邊緣，不可(ke)(ke)觸摸(mo)面(mian)(mian)膜(mo)表(biao)面(mian)(mian)。在任何情(qing)況(kuang)下，口罩的鉻膜(mo)都不能(neng)與(yu)其他物體接觸，以防劃(hua)傷，口罩的灰塵(chen)可(ke)(ke)以用(yong)氮氣(qi)槍吹掉。
5.曝(pu)光(guang)時避免眼睛直視曝(pu)光(guang)機(ji)的(de)汞(gong)燈。
鑷子(zi)使用(yong)說明：1.進入實(shi)驗室后，取(qu)鑷子(zi)前要(yao)戴(dai)上手套，以免污染。
2.只(zhi)有干凈的鑷(nie)子(zi)才能用(yong)來夾(jia)住芯(xin)片。一旦鑷(nie)子(zi)掉在地(di)上或者被手(shou)碰(peng)到，或者因為其他(ta)原因被污染必須拿去(qu)清洗，方可再使用。
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