潔(jie)凈(jing)室(shi)的氣流(liu)速(su)度/換(huan)氣次數一(yi)直是(shi)潔(jie)凈(jing)室(shi)設計中(zhong)關(guan)注的問題。隨著(zhu)潔(jie)凈(jing)室(shi)污染源控制(zhi)效果和(he)最終過濾器效率的提(ti)高，關(guan)于(yu)相關(guan)規范和(he)導(dao)則(ze)的推薦值(zhi)或(huo)參(can)考(kao)值(zhi)是(shi)否偏于(yu)保(bao)守的討論(lun)已(yi)有很多(duo)。FFU在(zai)應用中(zhong)人們所(suo)擔心的噪音(yin)、損壞、維護(hu)等(deng)問題在(zai)實(shi)踐中(zhong)得到(dao)了解決。隨著(zhu)FFU的不斷提(ti)高，是(shi)否采用FFU回(hui)風系統也是(shi)一(yi)個熱(re)點：懸(xuan)浮分子污染(AMC)的控制(zhi)在(zai)微(wei)電子和(he)IC行業已(yi)經越來(lai)越被提(ti)上日程并受(shou)到(dao)關(guan)注。以下是(shi)對這些問題的總結和(he)分析。

在具(ju)有(you)一定潔(jie)凈(jing)度的(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)中，氣流速度的(de)確定隨著潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)使(shi)用而(er)變(bian)化(hua)。它不僅(jin)受室(shi)內粉塵(chen)排放和(he)過濾效率的(de)影響，還受其他因素(su)的(de)影響。就工業潔(jie)凈(jing)室(shi)而(er)言，影響潔(jie)凈(jing)度和(he)氣流速度選(xuan)擇的(de)主要因素(su)有(you)：

(1)室(shi)內(nei)污染源：建筑構件、人員數(shu)量(liang)和(he)(he)操作活動、工(gong)(gong)藝設備、工(gong)(gong)藝材料和(he)(he)工(gong)(gong)藝本(ben)身都(dou)是塵粒釋放的來源，根據具(ju)體情(qing)況變化較大；

(2)室內氣流(liu)(liu)(liu)(liu)形態和分(fen)布：單向(xiang)流(liu)(liu)(liu)(liu)動(dong)要(yao)求流(liu)(liu)(liu)(liu)線均勻、均等，但會受到工藝設備(bei)的布置和位置變(bian)化(hua)、人員活動(dong)等因素的干擾。形成局部渦流(liu)(liu)(liu)(liu)；非單向(xiang)流(liu)(liu)(liu)(liu)動(dong)需要(yao)填充和混合(he)，以避免死角(jiao)和溫(wen)度(du)分(fen)層。